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  1. 0020 学内研究費成果報告書等
  2. 学内研究費-システム理工学部

Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

http://hdl.handle.net/10112/10305
http://hdl.handle.net/10112/10305
4999781c-d136-414d-b3f9-0df4c79616c2
名前 / ファイル ライセンス アクション
KU-1100-20160127-00.pdf KU-1100-20160127-00.pdf (1.3 MB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2016-07-15
タイトル
タイトル Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Shimizu, Tomohiro

× Shimizu, Tomohiro

WEKO 1799
e-Rad 80581165

Shimizu, Tomohiro

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Tanaka, Norihiro

× Tanaka, Norihiro

WEKO 1800

Tanaka, Norihiro

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Tada, Yoshihiro

× Tada, Yoshihiro

WEKO 1801

Tada, Yoshihiro

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Hara, Yasuhiro

× Hara, Yasuhiro

WEKO 1802

Hara, Yasuhiro

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Nakamura, Noriaki

× Nakamura, Noriaki

WEKO 1803

Nakamura, Noriaki

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Taniuchi, Junichi

× Taniuchi, Junichi

WEKO 1804

Taniuchi, Junichi

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Takase, Koichi

× Takase, Koichi

WEKO 1805

Takase, Koichi

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Ito, Takeshi

× Ito, Takeshi

WEKO 1806
e-Rad 50426350

Ito, Takeshi

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Shingubara, Shoso

× Shingubara, Shoso

WEKO 1807
e-Rad 10231367

Shingubara, Shoso

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 1808
姓名 清水, 智弘
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 1809
姓名 伊藤, 健
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 1810
姓名 新宮原, 正三
概要
内容記述タイプ Other
内容記述 This work develops a novel method for preparing a moth eye structure, which has a sub-wavelength periodical Si nanocone structure on Si (100) substrate, using two-step metal assisted chemical etching (MACE). The 1st and 2nd MACE were respectively performed with the intention to form perpendicular Si nanowire arrays on a Si substrate and sharpening the Si nanowire arrays. We found the inhomogeneous absorption and aggregation of Au particles used as a catalyst for 2nd MACE was important to obtain the nanocone shape. The obtained Si nanocone arrays showed superior anti-reflecting properties especially in wavelength below 600 nm compared to the Si nanowire arrays. A possible mechanism involved in the formation of the nanocone structure by the 2-step MACE is discussed in this paper.
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 This work was supported by KAKENHI Grant Numbers 25790024, 25600048 and
15K04602 from the Japan Society for the Promotion of Science (JSPS), Strategic Project to Support the Formation of Research Bases at Private Universities: Matching Fund Subsidy from the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology(MEXT), and Kansai University Subsidy for supporting Young Scholars 2013.
書誌情報 Microelectronic Engineering 153(2016)

p. 55-59, 発行日 2016-01-27
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 01679317
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.1016/j.mee.2016.01.030
権利
権利情報 This is the author's version of a work that was accepted for publication in Microelectronic Engineering. Publisher's version is available from http://doi.org/10.1016/j.mee.2016.01.030.
権利
権利情報 Ⓒ2016 Elsevier
出版者
出版者 Elsevier
キーワード
主題Scheme Other
主題 関西大学 (Kansai University)
キーワード
主題Scheme Other
主題 ナノワイヤ (nanowire)
キーワード
主題Scheme Other
主題 ナノコーン (nanocone)
キーワード
主題Scheme Other
主題 メタルアシストエッチング (metal assisted chemical etcing)
キーワード
主題Scheme Other
主題 反射防止膜 (anti-reflection layer)
キーワード
主題Scheme Other
主題 ナノ粒子 (nanoparticle)
キーワード
主題Scheme Other
主題 平成25~26年度関西大学若手研究者育成経費
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Ver.1 2023-05-15 14:50:55.784576
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Shimizu, Tomohiro, Tanaka, Norihiro, Tada, Yoshihiro, Hara, Yasuhiro, Nakamura, Noriaki, Taniuchi, Junichi, Takase, Koichi, Ito, Takeshi, Shingubara, Shoso, 2016, Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method: Elsevier, 55–59 p.

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