WEKO3
アイテム
Studies on Synthesis of Functional Polymers for the Development of Ultra-High Resolution Extreme Ultraviolet Photoresist Materials and Their Underlayer Materials
https://doi.org/10.32286/0002002420
https://doi.org/10.32286/00020024200e327309-b7ff-4752-bac9-451ecab3fb46
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KU-0010-20240331-19.pdf (8.9 MB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2025-03-03 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Studies on Synthesis of Functional Polymers for the Development of Ultra-High Resolution Extreme Ultraviolet Photoresist Materials and Their Underlayer Materials | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.32286/0002002420 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||
| その他のタイトル | 超高解像性極端紫外線用レジスト材料とそれらの下地材料の開発を目的とした機能性ポリマーの合成に関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 著者 |
前川, 紘之
× 前川, 紘之
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| 書誌情報 |
発行日 2024-03-31 |
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| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 34416 | |||||||||
| 学位授与機関名 | 関西大学 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2024-03-31 | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第961号 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 関西大学 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Kansai University | |||||||||
