WEKO3
アイテム
DEVELOPMENT OF PHOTOELECTRON-ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
http://hdl.handle.net/10112/10905
http://hdl.handle.net/10112/10905067939dd-3f39-4fb6-86c3-a6e825760cfc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KU-1100-20170320-01.pdf (3.6 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2017-04-14 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | DEVELOPMENT OF PHOTOELECTRON-ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
| 著者 |
Tani, Hiroshi
× Tani, Hiroshi× Sakane, Yasuo× Koganezawa, Shinji× 石川, 正司
WEKO
28411
× Tagawa, Norio |
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| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 28413 | |||||||||
| 姓名 | 谷, 弘詞 | |||||||||
| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 28414 | |||||||||
| 姓名 | 坂根, 康夫 | |||||||||
| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 28415 | |||||||||
| 姓名 | 小金沢, 新治 | |||||||||
| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 28416 | |||||||||
| 姓名 | 石川, 正司 | |||||||||
| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 28417 | |||||||||
| 姓名 | 多川, 則男 | |||||||||
| 概要 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | We developed a photoelectron-assisted chemical vapor deposition (PACVD) that can deposit an ultra-thin perfluoropolyether (PFPE) film on a diamond-like carbon (DLC) surface. The DLC surface with a 1 nm-thick PFPE film deposited by the P ACVD showed a low surface energy. The surface also showed a low adhesion force that was caused by the low surface energy. We confirmed that the PFPE/DLC surface deposited by the PACVD has the potential to improve the areal density of hard disk drives. | |||||||||
| 内容記述 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | This work was supported in part by Kansai University, Outlay Support for Establishing Research Centers in 2014, a Kansai University Grant in Aid for the Promotion and Upgrading of Education and Research, and MEXT KAKENHI grant number 15H02216. | |||||||||
| 書誌情報 |
Science and technology reports of Kansai University = 関西大学理工学研究報告 巻 59, p. 83-91, 発行日 2017-03-20 |
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| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 04532198 | |||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
| 収録物識別子 | AA12314657 | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | Kansai University | |||||||||
| 出版者（他言語） | ||||||||||
| 値 | 関西大学 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 平成26年度関西大学研究拠点形成支援経費 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Photoelectron | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Chemical Vapor Deposition | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Hard Disk Drive | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Perfluoropolyether | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Lubricant | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | Kansai University | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 関西大学 | |||||||||
