@article{oai:kansai-u.repo.nii.ac.jp:00011688,
 author = {工藤, 宏人},
 journal = {理工学と技術 : 関西大学理工学会誌 = Engineering & technology},
 month = {Nov},
 note = {半導体集積回路（IC）は、最近20年の間に驚異的な進化を遂げ、高度情報化社会を牽引してきた。IT産業という言葉を定着させ、その発展を支えたのはICの進化のおかげであると断言しても過言ではない。ICを進化させたのは、フォトリソグラフィの発展により、レジストパターン幅を縮小させることに成功してきたからである。そのレジストパターンの発展も、いよいよ限界に近づき、分子レベルでのコントロールに迫ろうとしている。},
 pages = {75--80},
 title = {トピックス　高度情報化社会の発展を支え続けるフォトリソグラフィの進化},
 volume = {19},
 year = {2012}
}