@article{oai:kansai-u.repo.nii.ac.jp:00011617, author = {田中, 俊輔}, issue = {1}, journal = {理工学と技術 : 関西大学理工学会誌}, month = {Nov}, pages = {27--32}, title = {気相法によるメソポーラスシリカ薄膜の合成}, volume = {14}, year = {2007} }