@article{oai:kansai-u.repo.nii.ac.jp:00011600,
 author = {西本, 明生},
 issue = {5},
 journal = {熱処理},
 month = {Oct},
 note = {技術解説－協会賞にちなんだ技術解説・平成23年度技術賞（粉生賞）－},
 pages = {259--264},
 title = {アクティブスクリーンプラズマ窒化の最近の研究動向と研究成果},
 volume = {53},
 year = {2013}
}